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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]离子源-CN201110340962.8有效
发明人：井内裕 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种新的离子源，与以往的离子源相比，尽管电极个数少，也具有与以往的离子源相同的功能。本发明的离子源(1)不具有抑制电子从下游一侧(Z方向一侧)流入的抑制电极。离子源(1)包括：多个电极(5、6、7)，沿离子束(3)的引出方向(Z方向)配置；以及磁场产生部件(11)，配置在所述电极(5、6、7)的下游一侧(Z方向一侧)，至少具有一对磁极(20、21)，该一对磁极(20、21)产生横穿从所述离子源(1)引出的所述离子束(3)的磁场。
离子源

[发明专利]离子源-CN201110175674.1无效
发明人：马军;刘立秋;颜毅坚;徐翔;张伟;张亦扬 -专利权人：武汉矽感科技有限公司
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： H01J49/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子源，该离子源包括：电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极，放电体的高压端连接电源，低压端通过限流电阻R1接地，离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端，另一端通过分压电阻本发明所述的离子源，通过增加离子引出电极、以及离子引出电极和放电体之间的引出电压，使得该离子源产生的离子能够被有效引出，同时又不影响离子源放电的稳定性。
离子源

[实用新型]离子源-CN201120221033.0有效
发明人：马军;刘立秋;颜毅坚;徐翔;张伟;张亦扬 -专利权人：武汉矽感科技有限公司
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： H01J49/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种离子源，该离子源包括：电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极，放电体的高压端连接电源，低压端通过限流电阻R1接地，离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端，另一端通过分压电阻本实用新型所述的离子源，通过增加离子引出电极、以及离子引出电极和放电体之间的引出电压，使得该离子源产生的离子能够被有效引出，同时又不影响离子源放电的稳定性。
离子源

[发明专利]离子源-CN01821886.5无效
发明人：韦恩·G·塞恩蒂 -专利权人：塞恩技术有限公司
申请日： 2001-11-29 - 公布日： 2004-03-31 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种用在薄膜离子辅助沉积中的离子源，其具有一个电离区(13)；一个供气源(22)，向电离区提供可电离气体；一个导致气体电离的气体激系统(11，12)，用于将离子形成指向目标的离子流的离子影响装置，以及一个控制离子源从而间歇性地产生离子流的离子源控制器。
离子源

[发明专利]离子源-CN201980034542.1在审
发明人：斯特万·巴伊奇;大卫·杜斯;斯科特·普里查德 -专利权人：英国质谱公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：公开电离的方法，其中加热样品使得分析物从所述样品中释放。累积从所述样品中释放的分析物，并且然后将所述累积的分析物传递到其中电离所述分析物的电离区域。
离子源

[发明专利]离子源-CN201911375354.3在审
发明人：川村昌充;山元彻朗 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种离子源，其抑制由正离子引起的热阴极的电子放出部的损耗。离子源(10)采用如下结构，即，具备：等离子体生成容器(20)；热阴极(30)，配置在等离子体生成容器(20)的外侧并朝向等离子体生成容器内放出电子(e)；以及发射极电源(Ee)，向热阴极(30)施加相对于等离子体生成容器(20)为正的直流电压，其中，离子源(10)具备交叉电场形成元件(40)，该交叉电场形成元件在电子(e)从热阴极(30)的电子放出部(30a)到达等离子体生成容器内所经过的区域中的至少一部分区域(R1)中，在与从电子放出部朝向等离子体生成容器内的方向交叉的交叉方向(D)上形成交叉的交叉电场(E1)。
离子源

[发明专利]离子源-CN201811608893.2在审
发明人：山元徹朗 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种离子源。利用形成有离子束引出用的长孔的碳构件，抑制剥离后的堆积物横跨长孔而致使引出的离子束的束电流量减少。离子源(IS)具有形成有离子束引出用的长孔(H)的碳构件(C)，在长孔(H)的长边形成有切口(E)。
长孔离子束离子源碳构件电流量堆积物长边横跨剥离

[发明专利]离子源-CN201911382854.X在审
发明人：胡琅;胡强;徐平;冯杰;侯立涛;方威;尤晶 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01J3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种离子源，包括：一阴极壳体，其包括底壁、顶壁以及连接底壁和顶壁的侧壁，所述底壁、顶壁以及侧壁围成一容纳空间，所述顶壁上开设有呈迂回曲折延伸的开口，壳体上设置有电极以及一通气孔；一阴极板条，其与所述开口的形状适配本发明实施例提供的离子源可以提高离子源的效率，节省空间。
离子源

[发明专利]离子源-CN201980068077.3在审
发明人：长谷川英树;杉山益之;桥本雄一郎 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明的目的在于通过既确保隔热性又将加热气体的温度分布均匀化，从而提高离子源的安全性、稳定性。本发明的离子源在保持离子探针的探针保持部内具备气体导入口，使加热气体的温度上升的加热部和上述气体导入口之间通过沿上述离子探针的延伸方向延伸且互相独立的多个配管连接(参照图4)。
离子源

[发明专利]离子源-CN202080076135.X在审
发明人：史蒂夫·巴伊奇;理查德·巴林顿·莫尔兹;大卫·戈登 -专利权人：英国质谱公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：提供了一种大气压电离(API)离子源，其包括被配置为加热液滴喷雾的加热器。离子源可以包括目标，其中液滴喷雾被设置成对目标进行冲击。
离子源

[发明专利]离子源-CN202210210121.3在审
发明人：井内裕;土肥正二郎 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供结构简单且即使大型化的情况下材料费用也较低的离子源。离子源(IS2)具有：等离子体容器(1)；多个平板状电极(2‑4)，排列在从等离子体容器(1)引出离子束的方向上；以及筒状部件(6)，位于抑制电极(4)的下游侧，平板状电极(2‑4)在离子束引出方向的最下游侧具有抑制电极
离子源

[发明专利]离子源-CN202211531248.1在审
发明人：任秀艳;冯喆;曾麟淇;徐昆;赵纯瑞;侯继宇 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J49/12 文献下载
摘要：本申请的实施例提供一种离子源，包括：气化机构，用于将固态原料气化形成饱和蒸汽，气化机构包括：多个坩埚，坩埚用于容纳固态原料；加热件，用于对坩埚加热以使固态原料气化成饱和蒸汽；分配机构，设置有多个气体入口和多个气体出口，每个气体入口与一个坩埚连接；多个等离子体生成机构，分别与气体出口连接，以接收来自气化机构的饱和蒸汽，等离子体生成机构形成有放电腔，饱和蒸汽能够在放电腔中电离形成等离子体；电子发射机构，电子发射机构能够向放电腔中发射电子，以使放电腔中的饱和蒸汽发生电离；以及引出机构，引出机构能够对放电腔中形成的等离子体施加电场，以将等离子体引出放电腔并形成离子束流。
离子源

[发明专利]离子源-CN202211531693.8在审
发明人：冯喆;曾麟淇;任秀艳;毋丹;徐昆;王国宝 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01J49/14 文献下载
摘要：本申请的实施例提供一种离子源，包括：气化机构，用于将固态原料气化形成饱和蒸汽；分配机构，设置有至少一个气体入口和多个气体出口，气体入口与气化机构连接；多个等离子体生成机构，分别与气体出口连接，以接收来自气化机构的饱和蒸汽，等离子体生成机构形成有放电腔，饱和蒸汽能够在放电腔中电离形成等离子体；电子发射机构，电子发射机构能够向放电腔中发射电子，以使放电腔中的饱和蒸汽发生电离；以及引出机构，引出机构能够对放电腔中形成的等离子体施加电场，以将等离子体引出放电腔并形成离子束流。
离子源

[发明专利]离子源-CN201310685061.1有效
发明人：托马斯·N·霍斯奇;萨米·K·哈托 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及离子源。提供了一种离子源，其包括至少一个电子枪。电子枪包括用于生成电子束的电子源和用于接收气体的入口。电子枪还包括至少由阳极和接地元件限定的等离子体区域，其中，等离子体区域能够从经由入口接收的气体形成等离子体。等离子体能够由电子束的至少一部分所维持。电子枪进一步包括用于输送以下至少之一的出口：（i）由等离子体生成的离子或（ii）由电子源生成的电子束的至少一部分。
离子源

[发明专利]离子源-CN201510393832.9有效
发明人：角谷晶子;桥本清;佐藤洁和;长内昭宏;吉行健;来栖努;林和夫 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2013-03-05 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H01J27/24 文献下载
摘要：提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材(13)配置在被排气成真空的真空容器(10)内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管(17)、小孔(18)、中间电极(19)以及加速电极(20)的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。
离子源

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